U usluzi na jednom mjestu
NewTek Gas predstavlja vrhunski sustav za proizvodnju kisika (tlaka za ljuljanje) koji je posebno projektiran za okruženje za proizvodnju poluvodiča. Ova modularna otopina isporučuje 99,5% ultra-visoke čistoće kisika s brzinom protoka u rasponu od 5-3000 nm³/h, što sadrži inteligentne mogućnosti integracije za čiste operacije.
Temeljne tehničke prednosti
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% O₂ Čistoća
± 0. Stabilnost koncentracije 5% kroz analizu laserskog plina u stvarnom vremenu
0. 1 μm višestupanjski filtracija (HEPA+ULPA) osigurava usklađenost ISO klase 3
- 30% niža potrošnja energije od konvencionalnih sustava
- Sustav za oporavak topline smanjuje toplinsko opterećenje u Fab okruženjima
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Skalabilni klizni dizajn podržava 20% -200% ekspanzije kapaciteta
Jedinica za kompresiju zraka (tehnologija svitka bez ulja)
Tower za pročišćavanje (automatsko uklanjanje vlage TSA)
Pametni upravljački ormar (PLC+HMI s SECS/GEM protokolom)
Podnožje postupka
✔ Termička oksidacija
Preciznost O₂ Opskrba za rast oksida (2-200 Å kontrola debljine)
✔ suho jetkanje
Plazma stabilna opskrba plinom za uzorkovanje nanosula
✔ CVD čišćenje komore
Ultra-suhi kisik za prevenciju onečišćenja čestica
✔ Wafer žarenje
Kontrola atmosfere visoke čistoće za aktivaciju dopanta
Pametni sustav praćenja
Praćenje nečistoće u stvarnom vremenu (otkrivanje na razini PPB-a)
Prediktivno održavanje s AI algoritmom (98% točnost)
Daljinska dijagnostika putem IIOT platforme (OPC UA/MTCONNECT)
Polu f 5-0202 Standardi za čistoću plina
CE/UL/ETL certifikat za električnu sigurnost
ISO 14644-1 Kompatibilnost klase 3 čiste sobe
mi pružamo
▲ Globalna tehnička mreža:24/7 Višejezična podrška s<4hr response time
▲ Program optimizacije za život:Godišnja revizija učinkovitosti i usluga zamjene molekularnih sita ({1- godina jamstvo)
▲Prilagođena rješenja:Prilagođena integracija s AMHS/MMC sustavima
i dizajn sustava za oporavak plina
Obratite se našim stručnjacima za benzin
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Popularni tagovi: Generator kisika za poluvodič, kineski generator kisika za proizvođače poluvodiča, dobavljači
